由各種傳感器的原理可知,電容傳感器靈敏度高,具有以下特點:
1、動態響應好,由于極板間的靜電引力很小,需要的作用能量極小,又其可動部分可以做的很小很薄,因此其固有頻率很高動態響應時間短,能在幾兆赫的頻率下工作,特別適合動態測量。
2、結構簡單,適應性強,易于制造,易于保證高的精度,可以做成小尺寸傳感器,以實現特殊測量,能工作在高低溫,強輻射及強磁場等惡劣環境中,可以承受高壓力,高沖擊,過載等。
3、發熱小,自身溫度系數小,由于電容傳感器的電容值于電極材料無關,可以選擇溫度系數低的材料,在外界溫度穩定的情況下,可以保證好的穩定性。激光切割機
4、較大的相對變化量只受線性區限制,其值可達到百分之百或更大,可以保證傳感器的分辨率和測量范圍。